金融界2025年3月5日音讯,国家知识产权局信息数据显现,ASML荷兰有限公司获得一项名为“用于在扫描期间装备束的空间尺度的办法和设备”的专利,授权公告号CN 112639621 B,请求日期为2019年8月。
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